一旦 #EUV 微影機光學系統的數值孔徑能由目前的 0.3 推進到 0.5 以上,則 1 奈米線寬的圖案將可以被雕刻出來,#摩爾定律 也即將謝幕。
https://www.digitimes.com.tw/col/article.asp?id=1254
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一旦 #EUV 微影機光學系統的數值孔徑能由目前的 0.3 推進到 0.5 以上,則 1 奈米線寬的圖案將可以被雕刻出來,#摩爾定律 也即將謝幕。
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